在泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的刻蝕、擴(kuò)散、離子注入、薄膜沉積和黃光工藝等關(guān)鍵制程環(huán)節(jié)都需要使用各種超高純氣體，由于超高純氣體在生產(chǎn)過(guò)程中與產(chǎn)品直接接觸，因此超高純氣體輸送系統(tǒng)是集成電路、平板顯示、半導(dǎo)體照明、太陽(yáng)能光伏和光纖制造等泛半導(dǎo)體行業(yè)中最關(guān)鍵的廠務(wù)系統(tǒng)之一。
如何避免輸送過(guò)程中系統(tǒng)對(duì)超高純氣體的二次污染便成為超高純氣體輸送系統(tǒng)的首要考量。另外，泛半導(dǎo)體行業(yè)所使用的各類(lèi)特殊氣體通常具有易燃、易爆、劇毒、腐蝕、窒息等各種危險(xiǎn)特性。同時(shí)，由于泛半導(dǎo)體行業(yè)工藝復(fù)雜先進(jìn)，對(duì)超高純氣體的質(zhì)量保障和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行提出了嚴(yán)苛的要求。因此，在超高純氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、安裝和運(yùn)行過(guò)程中需要充分考慮潔凈度、安全性、穩(wěn)定性等關(guān)鍵因素。
超高純氣體輸送系統(tǒng)整體解決方案包括:
l 大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)；
l 特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)；
l 純化器系統(tǒng)；
l 在線氣體品質(zhì)監(jiān)控系統(tǒng)；
l 氣體泄露偵測(cè)系統(tǒng)；
l 氣體設(shè)備運(yùn)行管理系統(tǒng)；
l 尾氣處理系統(tǒng)；
l 氣體供應(yīng)管路系統(tǒng)和二次配工程；
l 氣體系統(tǒng)駐廠運(yùn)行服務(wù)。
興鼎公司的氣體輸送系列工程從氣源到使用點(diǎn)，再到尾氣處理，從而實(shí)現(xiàn)安全穩(wěn)定、無(wú)污染、滿足工藝制程要求的供應(yīng)，環(huán)保達(dá)標(biāo)排放；從設(shè)計(jì)、制造、現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試到運(yùn)行管理和維護(hù)保養(yǎng)等。
【本文標(biāo)簽】：高純氣體輸送系統(tǒng) 半導(dǎo)體廠務(wù)系統(tǒng) 潔凈室工程
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